直拉法相关论文
氧化镓晶体是继碳化硅和砷化镓之后发展起来的第三代半导体材料,在未来具有广阔的应用前景。由于氧化镓的低热导率、高普朗特数、......
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题，提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型，可以在掉苞现象发生之......
基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场，研究加热功率、晶体转速以及坩埚转速对液-固界面的影响。计算结果表明，加热功率对液-固界面......
通过热场实验、拉晶参数实验与电阻率控制实验，研究了重掺砷＜１１１＞硅单晶的位制工艺，制备出无位错的Φ１００ｍｍ单晶，成品率达３３．８５％。还探讨了简便、高效的......
单晶硅是当代信息产业重要的基础材料,其生长工艺受到行业乃至国家的高度重视。直拉法生产单晶硅时,生产过程中熔硅液面的精准控制......
1.硅价格:1982年多晶硅美国市场价格为$60～7.0美元/公斤;西德伐克公司为$63.77美元/公斤;日本曾从美国进口多晶硅的价格为$40美元/......
总结了熔体中生长直拉硅单晶的基本控制要求,讨论了Cz法单晶生长中的各种流动及其对硅单晶生长的影响。借助于计算机模拟结果,显示......
碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅......
进入21世纪以来，以半导体技术为基础的计算机、通信技术等信息产业(IT)及以太阳能电池技术为主的光伏产业飞速发展，而硅单晶作为其重......
热解炭涂层技术是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效方法之一,本文介绍了热解炭涂层的制备技术及优缺点,综述了热......
硅单晶现已广泛用于电子、电气、机械、仪表、制造、核动力工业和各种高技术研究领域,鉴于其在市场上的广泛应用及重要性,本文将先......
进入21世纪,人类面临严峻的能源危机和生态环境危机。太阳光伏发电作为一种清洁无污染的新能源,提供了解决人类能源危机的重要途径......
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本......
随着集成电路技术的发展,集成电路芯片已经发展到高集成度、高密度和高性能.传统的硅晶圆制造技术主要用于小直径的硅晶片生产.随......
直径300mm硅片的生产技术是当今硅材料生产研究的重要方向之一,而晶体生长 界面的形状、温度分布、晶体中氧的浓度和均匀性等对熔......
(上接2010年第4期)rn如果是采用直拉法,也就是将连续法聚酯树脂生产线与薄膜双拉生产线连接起来,将完成缩聚反应的聚酯熔体,通过熔......
随着单晶光伏发电大规模的应用,市场对单晶硅的需求和竞争越来越激烈和突出,单晶生产过程的管控直接影响单晶成本的高低,然而单晶......
利用数值模拟技术对Si1-xGex单晶生长过程中的热传输和温度分布情况进行了模拟分析,并以此为条件对晶体生长过程中不同阶段下,不同......
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