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白光干涉术相关论文
从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法
设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的......
期刊
光学薄膜
薄膜厚度
反射相位
白光干涉术
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相位曲线
多变量
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