电极刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

电极刻蚀相关论文

基于半球谐振陀螺电极刻蚀的三维平衡调整方法

曲面电极刻蚀技术是半球谐振陀螺的关键技术之一。为满足半球谐振陀螺高精度和高性能的要求,针对激励罩和读出基座的电极刻蚀工艺,......

期刊

半球谐振陀螺电极刻蚀平衡调整误差激光位移传感器

约束刻蚀剂层技术中电极刻蚀过程的仿真与实验研究

随着科技的快速发展,微机电系统、大规模集成电路、超精密光学系统等制造领域对微纳米加工技术的要求越来越高,传统微纳米加工技术......

学位

约束刻蚀剂层技术电极刻蚀耦合效应旋转流场模拟仿真

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