电子气体相关论文
随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡......
电子级氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)和氟化氢(HF)等高纯气体是半导体领域不可或缺的原材料之一,作为芯片先进支撑的一类核心气体主要......
耐HC1和水协同腐蚀、低二次杂质释出是吸附材料用于HC1电子气体深度除水的先决条件.在考察了一系列工业化硅铝酸盐分子筛的耐蚀性......
摘要：本文首先阐述了管路内壁去除水分的原理，并介绍了电子气体生产装置中隔膜压缩机气体管路水分处理方法的改进。改进后的处理方法......
该文运用闭路格林函数方法,比较简明地导出了电子气体热力学势的表达式,同时还得到了新的交换项.这个交换项在有限温度下可以化为......
