牵引分子泵相关硕士博士期刊学术论文

筒式牵引分子泵是牵引分子泵中的一种，气体流向为轴向。该泵结构紧凑，具有高的压缩比，在复合分子泵中，常常将其作为压缩级，以获得较高的......