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热屏相关论文

直径300mm硅单晶生长过程的热场模拟

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学位

直拉硅晶体热屏 300mm 热场氩气流数值模拟

热屏结构对大直径单晶硅生长影响的数值分析

采用有限元法计算了300 mm硅单晶生长过程中,热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响。计算所用的模型涵盖......

期刊

单晶硅有限元法热屏

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