溅射刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

溅射刻蚀相关论文

FIB微细加工性能的研究

现代微电子业发展迅速，随着集成电路工艺走进亚微米、深亚微米领域，相应迅速发展起来一种新技术——聚焦离子束FIB。采用镓液态......

学位

聚焦离子束微细加工离子注入溅射刻蚀增强刻蚀

氢在化学气相沉积制备碳材料过程中的作用

化学气相沉积是目前广泛用于制备碳材料如纳米金刚石、碳纳米管、碳纳米尖端等材料的技术.在制备这些碳材料时,氢气是一种主要的反......

期刊

化学气相沉积化学刻蚀溅射刻蚀脱氢

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