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氮化铝薄膜声表面波温度传感器的研究
近些年温度传感器的发展很迅速,随着在一些恶劣、特殊环境中检测需求的提出,有源有线的传感器容易受到约束。例如在高速运转的物体......
学位
声表面波
温度传感器
ALN薄膜
温度频率系数
频率响应
FBAR温度传感器研究
近年来,微机电制造技术的发展使得薄膜体声波谐振器(FBAR)获得了广泛的商业应用。一方面,FBAR在移动通信领域扮演着重要角色,由于F......
学位
薄膜体声波谐振器
FBAR温度传感器
温度频率系数
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