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用于制备高纯硅烷的反应精馏工艺开发
目前业内多采用传统歧化工艺制造硅烷,并用于流化床法生产颗粒硅产品,因多步歧化反应转化率偏低,大量中间物料需要进行循环,导致硅......
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