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为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也......
随着光纤传感器在各种领域中的迅速发展,不同类型管道内的流体流速测量方法也在不断变革。本文针对微型圆管道内的流体流速测量进......
针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了一种基于非晶锗(a-Ge)......
针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器.该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连......
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