波像差测量相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

波像差测量相关论文

激光直写系统中的同步相移显微干涉检焦技术研究

随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......

学位

离焦检测激光直写同步相移显微干涉波像差测量

基于空间像峰值光强差的奇像差测量技术

提出一种基于空间像峰值光强差的光刻投影物镜奇像差测量技术。根据Hopkins部分相干成像理论,推导双缝图形空间像光强分布以及峰值......

期刊

投影物镜光强峰值光强差波像差测量泽尼克系数照明方式测量技术双缝光学制造光刻机

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