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氮气退火相关论文
氮气退火对锑掺杂氧化锡薄膜近红外阻隔性能的影响
采用射频磁控溅射的方法,用96at%SnO2/4at%Sb2O3陶瓷靶在玻璃表面制备了锑掺杂氧化锡(ATO)薄膜.研究了溅射功率、压强和后退火对薄膜......
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磁控溅射
ATO
近红外阻隔
氮气退火
溅射功率
压强
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