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氟化镱相关论文
沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加......
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