气浮支承相关论文
为了使气浮支承的承载力动态可调，设计了一种可变节流高度气浮支承.通过建立气浮支承计算流体动力学（Computational Fluid Dynamics,......
为提升气浮支承的稳定性及其定位精度，设计了一种多斜孔节流气浮支承。建立气浮支承的CFD模型，基于大涡模拟方法，研究节流孔高度、节......
气浮式非接触输运由于其非接触、无污染、不生磁等特点,在玻璃基板缺陷检测仪器中得到广泛应用。玻璃基板在气浮支承下由于气膜压......
为实现气浮支承承载性能的主动调节,设计一种主动控制狭缝节流气浮支承,可通过调节狭缝节流面积来调节气浮轴承承载力.建立气浮轴......
随着液晶显示技术向高清、超薄方向快速发展,对液晶显示屏玻璃基板的缺陷检测要求越来越高;为了降低成本,生产过程中单块玻璃基板......
<正> 一、前言研究精度的主要原因是要借助运转最精确的气浮支承的机床来制造光学零件。在现有光学技术条件范围内,形状准确和散射......
为提高狭缝节流气浮支承静态特性,在有腔狭缝节流气浮支承的基础上增加了表面节流均压槽,均压槽呈放射状,周向截面为扇形,径向截面......
气浮支承广泛应用于精密制造装备工作台、IC制造、高精密加工机床、光学测量设备等。气浮支承的承载力、动刚度和稳定性是影响装备......
随着精密制造和加工、精密光电装备以及航空航天等相关领域的发展，人们对系统结构的稳定性和测量加工的精度提出更严格和苛刻的要求......
随着精密和超精密制造技术水平的不断提高,对表面形貌测量技术的要求也越来越高。杠杆触针式表面形貌测量仪器动态响应快,测量分辨......
触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍......
