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本文基于仿生学的原理,模仿昆虫毛发感受器的结构,设计制备了一种只有根部涂镀表面对称电极的含金属芯PVDF纤维气流传感器(简称SMPF),并......
本课题研究了一种基于MEMS技术的具有双桥结构的硅气体流速传感器。从理论上阐述了微悬桥结构气体流速传感器的工作原理,设计了微......

