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射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究
利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射......
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等离子体增强化学气相沉积
类金刚石薄膜
射频功率
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