运用一种新的测量单面镀膜膜层光学参数的方法, 对不同热处理的GeTe半导体薄膜样品的光学参数进行了测量, 准确地获得了被测薄膜材......

为了对石英晶体在通讯波段1 310nm处的双折射率进行精密测量,基于椭偏光谱仪对P和S两方向上偏振光相位差的精密测量原理,在透射模......

本文对椭偏技术的历史、应用、发展趋势、基本原理、测量方法和数据分析等几个方面进行了描述,介绍了椭偏仪的种类和国内外研制、......

椭偏光谱学，全称椭圆偏振光谱学，英文全称（Spectroscopic Ellipsometry），缩写为SE，是目前一种应用广泛的光谱技术，测量原理以椭圆偏振光的......