梳齿驱动相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

梳齿驱动相关论文

硅微机械谐振式陀螺仪设计技术研究

近年来，硅微机械陀螺因其广泛的军事应用背景和商业价值成为一个倍受关注的研究热点。为提高硅微机械陀螺的性能，各国提出了各种结构......

学位

微机电系统动力学方程梳齿驱动双终端音叉谐振器谐振频率微机械杠杆窄带调频等效电路模型微弱信号检测

基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究

静电梳齿驱动器常用于实现平面内的横向驱动，但是实现非平面内的纵向驱动比较困难。国外很多学者采用正反对准、多次选择性刻蚀获得......

学位

梳齿驱动垂直驱动塑性变形自对准 KOH各向异性腐蚀

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