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柱状电容相关论文
柱状电容位置误差对微纳力值测量影响分析
为确定微纳力值测量过程中,柱状电容装置位置控制与测量误差对输出结果的影响,采用有限元方法对微纳力值测量与量值溯源装置中采用......
期刊
柱状电容
位置误差
微纳力值
测量技术
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