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金属诱导非晶硅横向晶化形成的多晶硅的生长研究
详细研究了金属诱导非晶硅横向晶化时间、温度对晶化生长的影响.结果显示,晶化生长速度受温度影响较大,其最大生长速度在625℃附近......
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金属诱导横向晶化
晶化速度
镍诱导源
晶化波
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