无磨料相关论文
在低压无磨料条件下,利用碱性FA/O型螯合剂具有极强螯合能力的特性,对铜互连线进行化学机械平坦化,获得了高抛光速率和表面一致性......
用单层超硬磨料电镀或钎焊成的刀具,磨料分布是无序的,因而刀具表面无磨料的空隙分布十分偶然,其缺点也就不可避免了.于是便要求开......
针对无磨料低温抛光中冰盘会出现倾斜、引起加工过程的振动问题,对冰盘与工件盘的水平面内的相对运动进行了分析。对冰盘倾斜时,工......
