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固定源废气处理的催化剂涂覆工艺研究进展
由工业固定源排放的NOx和挥发性有机物(VOCs)是大气复合污染物的重要前体物质。整体式催化剂常被用于脱除NOx和VOCs。涂覆法是可工业......
期刊
整体器件
催化剂
制备
涂覆工艺
氮氧化物
挥发性有机物
类金刚石薄膜压阻性能及传感器研究
类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜具有优异的力学、摩擦、光学等性能。此外,DLC作为微技术应用中的压阻材料有很大的潜力,相比......
学位
磁控溅射
类金刚石薄膜
压阻
绝缘层
导电层
表层
整体器件
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