抛光质量相关论文
硅通孔(TSV)技术是一种先进的封装技术,化学机械抛光(CMP)是集成电路TSV制作过程中的重要步骤之一,是可兼顾材料表面局部和全局平......
不锈钢之所以耐蚀，是因为它具有较强的钝化特性，即在表面形成致密的氧化物保护膜。电化学抛光就是在不锈钢表面通过电及电解液的作用......
基于磁流变效应研抛加工原理，本研究提出将若干磁性体按适当的阵列方式排布在研磨盘基体内形成集群磁流变效应研磨刷构成研磨盘，对脆......
