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快速大面积测量用原子力显微镜扫描速度对测量结果的影响

构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响.分别测量了......

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原子力显微镜(AFM) 快速测量大面积测量恒高模式恒力模式扫描速度

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