A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system (MEMS) micromirror array-......

提要:激光光斑调制装置包括—高分辨率的微镜阵列,后者由许多独立编址并且可移动的微镜构成。微镜在打开位置反射部分光束到角膜,......

基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm2的32×32元微反射镜阵列,其工作频率可达到30KHz,最大扫描偏转角度为±10°,响......