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微薄膜相关论文
基于化学法的AuNPs-PDMS复合薄膜的制备及特性研究
随着时代的发展和科技的进步,新型传感器成为学术界及工业界研究的重点领域之一。其中,生物传感器作为新型传感器的重要分支,由于......
学位
AuNPs-PDMS
微薄膜
硅烷化
形貌特性
电学特性
PDMS微薄膜电容式表面应力生物传感器微加工及检测平台设计研究
微机电系统(MEMS)是以半导体制造为基础的多学科交叉的前沿性技术,具有微型化、集成化和适于批量生产等特点,经过近五十年的高速发展,微......
学位
微薄膜
表面应力
生物传感器
微加工
检测平台
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