微小结构在航空航天、电子工业、信息通讯等领域具有广阔的应用前景。电铸作为一种利用金属电化学阴极沉积原理来制备零件的精密特......

金属微细尺度(Meso/Micro)结构与零件(如微齿轮、微轴、微栅电极等)是微机械(MEMS)、电子产品、精密仪器仪表等高新技术产品的重要......

微细电铸技术是实现和推动高技术产品优质化、微型化和智能化的主要支撑技术之一。但电沉积缺陷难控问题往往严重弱化微细电铸件的......

微细制造技术被广泛地认为是21世纪最重要的技术之一。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的发展,对微机构所......

微细加工技术是MEMS技术从设计到产品化的整个过程中的重要环节，是MEMS技术的关键和基础，因此微细加工技术已成为当前研究的热点。在......

将超临界特性与电沉积技术有机结合,采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(铸层)的一种新方法,为微细......