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微沟槽阵列相关论文
金属微沟槽阵列结构的移动阴极掩膜电解加工
掩膜电解加工因其加工效率高、无电极损耗、无残余应力等特点,被广泛应用于微结构的加工。本文针对掩膜电解加工过程中结构均匀性......
学位
移动式阴极
掩膜电解加工
微沟槽阵列
刻蚀均匀性
超声电机摩擦副表面微沟槽阵列制备及其摩擦性能研究
超声电机因其独特的压电转换和摩擦驱动机制成为具有发展前景的精密驱动部件,由于依靠定转子之间摩擦力驱动,摩擦副的高摩擦系数和......
学位
超声电机
定转子
微沟槽阵列
制备工艺
摩擦性能
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