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微机械系统(MEMS)相关论文
基于氮化铝薄膜的MEMS压电水听器设计与仿真分析
声呐是进行水下信息采集与通信的主要设备,水声换能器是声呐系统的重要组成部分,换能器中的接收换能器又叫水听器,其性能优劣将直......
学位
压电水听器
压电加速度计
氮化铝压电薄膜
微机械系统(MEMS)
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