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微机械动力学相关论文
矩形梁微机械陀螺与相关微机械动力学研究
该论文设计、加工和测试了一种便于检测、可在大气下工作的振动式微机械陀螺,并结合陀螺的研制,研究了多项相关的微机械动力学问题......
学位
微机械陀螺
陀螺
微机械动力学
电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究
微致动器(Microactuator)是微机电系统(MEMS)实现物理功能的关键器件,是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中,先进的CAD系统己有效地......
学位
微机电系统
电热微致动器
多能量域建模
有限元仿真
微机械动力学
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