微放电器相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

微放电器相关论文

用于无掩膜刻蚀的微放电器的工艺和性能研究

等离子体刻蚀技术因其较高的刻蚀速率、良好的方向性和材料选择性等优势得到了广泛应用。但在传统的刻蚀加工中，等离子体作用于整个......

学位

等离子体刻蚀无掩膜刻蚀微放电器工艺优化性能测试

复合介质层微放电器的制备和性能研究

为了实现亚微米精度的无掩膜刻蚀加工，我们提出了一种基于并行探针驱动的扫描等离子体加工方法。将微放电器与PZT悬臂梁相结合，通过......

学位

复合介质层微放电器制备工艺放电性能

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