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微型机构相关论文
双光路扫描式微型机构三维测量系统
科学及其技术的不断进步使得微型化逐渐成为近代工业发展的趋势。随着微细加工技术特别是微机电(MEMS)系统的不断发展,微型机构已......
学位
扫描式
激光三角法
双光路
微型机构
步进电机
三维结构
厚度测量
三维重建
用于微型驱动机构的非接触显微测速测振系统研究
近年来,微机电系统(MEMS)迅速发展,在各个领域的应用不断得到深入。微驱动器作为其中的可动部分,其运动幅度的大小、运动效率的高......
学位
MEMS
微型驱动机构
非接触
CCD
显微视频
测速测振
模板匹配
亚像素定位
运动轨迹
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