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在已有的工艺技术条件下，设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化，这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG......
微机械系统（MEMS）以其微型化、集成化等优点，在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
本文提出了一种基于可变衍射光栅的微加速度传感器,从航空航天系统对加速度计高精度、小型化、高可靠性等方面要求出发设计,文中提......
微型加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性组合测量系统的基础元件之一。由于航空航天,各种机器人、工业自动控制、汽车以及......
电容式硅微加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性测量组合系统的基础元件之一,在生产生活和军事武器中有着广泛的应用。它与......
电容式微机械加速度传感器是重要的惯性器件之一,具有体积小、成本低、功耗低等优点,在生产生活各个领域得到了广泛的应用。随着科......
微传感器是采用微米级的微电子和微机械加工制造技术制作而成的新型传感器,它具有体积小、重量轻、功能多、可靠性高以及易于实现......
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传......
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键......
