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微力传感相关论文
主动式引线键合绑定头优化设计
本项研究着眼于芯片后封装过程中的力觉及力控制问题,从基础研究入手,特别分析了目前广泛应用的引线键合工艺中的微力传感和高速高加......
学位
引线键合
微力传感
力控制
键合头
键合力控制
主动式绑定头
基于单探针和液滴辅助的微构件转移方法和实验研究
随着微机电系统构件的进一步微型化、结构的日益复杂化和精密化,利用机械夹持、真空吸附等方式转移微构件时,由于局部应力集中,容......
学位
微构件转移
微力传感
单探针
液滴辅助
双液桥模型
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