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峰位漂移相关论文
红外反射法研究6H-SiC表面热氧化生长的SiO2特性
本文利用红外反射峰位置与薄膜厚度及密度的关系研究了在SiC衬底上热氧化生长出的SiO2在退火前及在不同温度用高N2退火一小时后的1......
期刊
红外反射谱
峰位漂移
SiO2/6H-SiC
退火
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