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宏观颗粒相关论文
真空电弧过滤沉积技术的理论和实验研究
真空电弧沉积薄膜是近年来发展起来的高技术薄膜制备方式之一,但由于宏观颗粒的存在,限制了它向更广泛应用领域的发展.针对这种现......
学位
真空电弧
过滤
沉积技术
理论
宏观颗粒
电弧沉积薄膜
制备方式
高技术
应用
输运
实验
对象
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