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宏微复合平台相关论文
宏微复合运动平台的非线性补偿及其动态特性研究
高速电子制造装备常常需要实现高速、大行程和精密运动,宏微复合平台是实现其要求的有效方法之一。这类平台主要由直线电机与压电陶......
学位
宏微复合平台
非线性补偿
运动控制
精密定位
动态特性
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