大口径光学元件相关论文
为解决大口径光学元件表面疵病检测设备的精确测量、校准和溯源问题。设计了用于标定表面疵病检测系统的标准板，通过电子束曝光将定......
为有效检测光学元件体内的缺陷情况, 利用全内反射技术, 让激光束在光学元件内部多次全内反射后获得缺陷的散射光斑图像, 结合基于......
图像拼接是大口径光学元件表面疵病检测的关键环节之一。通过分析各种图像拼接的方法, 结合大口径光学元件表面疵病检测的需要, 采......
现代激光技术的快速发展,对光学元件的性能提出了越来越高的要求。尤其是在高功率、高能激光系统中,直径大于100毫米的大尺寸光学......
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求.本文围绕“超精......
随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率,需要适当的在线检测......
为实现在高功率激光装置中对平面反射镜反射率的高精度测量,提出了将双光束分光光度法与VW测量法相结合,利用扩束后的测量光束测量......
与传统光学加工方法相比，磁流变抛光具有确定性好、不产生亚表面破坏层、加工过程零磨损等优点，被越来越多的应用于高精度光学加工中......
温度瞬变是影响惯性约束聚变(ICF)驱动器中大口径光学元件结构稳定性的一个重要的激励因素.采用多通道高精度温度监测仪对原型装置......
多模式组合抛光大口径光学元件是提高加工效率和加工精度的有效方法。作为加工系统的重要组成部分,抛光机械手的设计是实现多模式......
为了解决大口径光学元件检测过程中成本高、空间分辨率低这两个主要难点,提出了使用小口径、高精度干涉仪分次检测大口径元件,然后......
为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法.该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行......
