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用外延法生长高功率叠层半导体激光器
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掺铒硅多孔化后的光致发光特性
采用一种新的方法制备掺Er多孔硅.首先通过分子束外延法生长Er,O共掺的硅外延层,然后通过常规的电化学阳极腐蚀法将外延层制备成掺......
期刊
掺铒
多孔硅
光致
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EPITAXIAL GROWTH
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均匀分布
红外发射
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外延法
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