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TiN薄膜以其漂亮的金黄色、良好的导电导热性能和硬度高等优良特性，被广泛用于机械工业中的刀具、模具，但其容易被氧化，在高速切削而......
采用将电弧离子镀与磁控溅射离子镀相结合而得的复合离子镀的方法,分别用高纯Cr作为电弧靶、用高纯Al作为溅射靶,通入氮气和氩气,......
