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增强放电相关论文
筒形溅射阴极的磁场优化及其高功率放电特性研究
基于高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术开发的筒形溅射阴极,配合电磁系统可有效地提升等离子体的输运效率.然而电磁系统的引入反作用......
期刊
高功率脉冲磁控溅射
磁电协同
增强放电
输出效率
石墨阴极弧增强放电及ta-C涂层沉积研究
ta-C涂层具有许多能和金刚石相媲美的卓越性能,例如良好的化学稳定性、较高的硬度和优异的抗磨损性能,良好的生物力学性能和生物相......
学位
ta-C涂层
真空阴极电弧离子镀
高脉冲电流
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膜基结合强度
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