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在超精密平面研磨加工中，研磨压力、磨料粒度、转速等加工参数直接影响着加工效率和工件表面质量，其中研磨压力是影响固着磨料研磨加......
在超精密平面研磨加工中,进给速度、磨料粒度、转速等加工参数直接影响着加工效率和工件表面质量,而研磨压力是这些研磨参数共同影......
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