四氟化碳相关论文
四氟化碳（CF4）是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF4的制备工艺流程中，精馏提纯技术是CF4气体纯度能否达到电子......
四氟化碳(CF4)是现代工业生产过程中排放的气态污染物质，由于CF4在大气中具有较长的存在年限和强烈的红外吸收能力，因而直接排放到大......
六氟化硫(SF6)气体在电弧、电火花和电晕放电的作用下会发生分解,产生二氧化硫(SO2)、四氟化碳(CF4)等分解产物。检测SF6分解产物(......
随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四......
本文介绍了六氟化钨的性质、应用及目前的发展状况,针对六氟化钨区别于其它电子气体的特殊性质,综述了对其中所含气体杂质和金属粒......
本文对全氟烃(PFCs)气体的特性及其对全球温室效应产生的巨大影响进行了阐述，综述了目前全球各国限制全氟烃排放的控制方法。本文利......
SF_6气体因其优良的绝缘性能和良好的开断能力而在电力系统中得到了广泛的应用。但是,由于其液化温度高,且具有极高的温室效应指数......
本文简要介绍了四氟化碳的物理和化学性质及其应用，四氟化碳反应粗气的组成及其物化参数。重点分析了四氟化碳粗气纯化的工艺原理，提......
四氟化碳（CF4）是一种无毒、不燃性气体，是电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜材料的蚀刻。此外，在......
利用SF6局部放电分解组分的特点能够很好地监测GIS内部绝缘状态.为此,采用傅立叶变换红外吸收光谱法(FTIR)来对SF6分解组分进行检......
