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基于正交实验的100 mm4°偏轴SiC衬底外延均匀性研究
采用行星热壁式SiC外延炉对100 mm 4°偏轴4H-SiC衬底外延工艺进行了研究。分析了氢气预刻蚀工艺对4°偏轴衬底外延材料表面形貌的......
期刊
SiC衬底
外延
台阶形貌
均匀性
正交实验
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