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HFCVD金刚石涂层设备关键部位的设计与仿真研究
金刚石膜因在力学、热学、光学及电学等方面具有独特的性能,所以在各个领域都有十分广泛的应用,CVD金刚石涂层刀具以及PCD(聚晶金......
学位
金刚石膜
热丝化学气相沉积
结构设计
反应腔体
有限元仿真
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