为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果，采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜，根据薄膜的光电性......

本论文采用双离子束溅射沉积方法制备了Si-SiOx、SiOx：C、SiOxNy复合薄膜，TEM及XRD的测试表明三种薄膜均为非晶结构，通过FTIR和XPS进......