压电微动平台相关论文
具有高精度的压电微动平台广泛应用于先进制造加工、生物科技、医学工程和自动化技术、纳米测量等微纳技术,是实现超精密加工、操......
压电致动器具有刚度大、频率响应快、位移分辨率高等优点,是精密定位领域的理想致动器,已成功应用于微纳米尺度测量、微机电系统、......
压电陶瓷驱动器(PEA)用来驱动平面3-RRR微动平台,实现微米级定位和轨迹跟踪等应用。在微动平台控制中主要存在两个问题,一是压电陶......
