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与硅橡胶基复合材料薄膜相比,丁基橡胶基复合材料薄膜不仅具有良好的耐环境性能,还具有易于封装、拉伸强度高等优点,具有广阔的应......

薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理.以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,......