光掩膜相关论文
本文采用基于金兹堡-朗道理论（Ginzburg-Landau theory）的元胞动力学方法（Cell Dynamic System）研究了光掩膜诱导的聚合物/纳米粒子共......
期刊
和几乎所有半导体光刻领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和......
为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备......
飞秒激光能够利用超高速的速度将能量集中在一个限定的区域，这样就能够实现对材料的冷加工。目前，在材料微加工中，对飞秒激光的应用已......
摘 要：以往清洗光掩膜时采用的清洗技术用到了浓硫酸、SC-1等溶剂，会在一定程度上导致硫酸根以及铵根离子残留在膜表面。随着微影技......
半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过......
光掩膜的制造是集成电路制造的关键工艺,掩膜的质量是直接影响到集成电路的技术性能和产品的成品率。特别是由于集成电路向着高密......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
近年来,在市委市府聚焦张江的战略决策指导下,上海市张江高科技园区在建设中国大陆集成电路产业高地、构造较完整的集成电路产业......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
