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光外差干涉相关论文
移相干涉仪中主动抗振及电器集成控制技术研究
移相干涉术是一种高精度、高灵敏度的光学测试方法,极易受外界振动的影响,为解决光干涉测试中的振动问题,本文在比较了国内外干涉抗振......
学位
移相干涉术
光外差干涉
抗振
DSP
集成控制
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